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项立刚:光刻机这颗明珠很快要变成玻璃珠了!中国已拿下光刻机

更新时间: 2026-04-07 01:39:06 |   作者: 贝博bb平台体育app下载

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详细介绍

  2025年3月底,深圳一家叫新凯来的企业,在上海国际半导体展上一口气甩出31款半导体制造设备,直接向国际半导体设备巨头的垄断地位发起挑战。此公司成立才三年,愣是把产品线铺得又宽又密。展会第二天,项立刚就在网上喊了一嗓子——光刻机这颗明珠,快要变成玻璃珠了。

  项立刚是谁?中国通信业观察者、智能互联网研究者,中央电视台、凤凰卫视评论员。这人在圈子里出了名的敢说。他早在2024年就写过一篇文章,标题就是《光刻机这颗明珠很快要变成玻璃珠子了》。

  玻璃珠这个比方,其实特别好理解。我们小时候玩的弹珠就是玻璃做的,几毛钱一颗,兜里随便揣一把。项立刚想表达的意思很简单——光刻机过去太稀缺了,贵得吓人,被捧上了神坛。

  可一旦中国人掌握了核心技术,产量上来了,价格就得往下掉。就跟当年液晶面板一个道理,京东方没入场之前,面板被韩国企业垄断,贵得离谱。京东方硬是亏了十几年杀进去,现在中国面板产能占全球一半还多,谁还拿面板卡我们脖子?

  上海微电子研发的SSA600/20型28nm沉浸式DUV光刻机,已完成中芯国际等头部企业的验证测试,良品率提升到90%,达到了量产标准。28nm够干什么?全球八成芯片需求都在28nm及以上,汽车芯片、电源管理芯片、工业控制芯片,全都覆盖得到。光这一步迈出去,大量芯片就不用再依赖进口了。

  新凯来已经开发出一种使用激光诱导放电等离子体(LDP)技术的国产EUV系统。产品命名也有意思,用的全是中国名山——峨眉山、武夷山、普陀山、长白山、阿里山。一家成立才三年的公司,敢碰EUV这种硬骨头,背后没两把刷子是不敢这么干的。它以独特的技术路线和国资背景,正在改写行业格局。

  EUV光刻机到底走到哪一步了?据路透社报道,中国在2025年底已经组装出一台EUV光刻机原型机,政府目标是2028年用它生产出功能芯片,不过外界一致认为2030年更现实。原型机出来了,离量产还有距离,这个不回避。可你想想,ASML自己从研发EUV到量产,也磨了将近二十年。我们起步晚,速度一点不慢。

  光源是EUV光刻机的命门,过去被美国Cymer公司独家垄断。中国科学院上海光机所林楠研究员带领团队,绕过二氧化碳激光器,用固体激光器技术成功开发出LPP-EUV光源。

  林楠这个人挺有故事,他曾任荷兰ASML公司研发科学家、研发部光源技术负责人,后来回国搞自主研发。从ASML核心岗位回来的人,带着一线经验往前冲,这本身就说明了问题。

  哈工大科研团队成功攻克了极紫外光技术难题,中心波长13.5纳米的极紫外光,是实现7纳米及以下先进制程芯片制造的关键光源。清华大学搞出了新型EUV光刻胶,长春光机所的物镜系统精度达到纳米级。不是某一个点在突破,是一整条产业链同时在往前推。

  ASML 2025年总净销售额为327亿欧元,创了新高,中国市场贡献了差不多三成。可ASML首席执行官克里斯托夫·富凯公开说了:"我们预计2026年中国客户的需求将显著下降。"为什么降?出口管制卡得越来越紧是一方面,中国自己的设备正在顶上来是另一方面。

  ASML自己的日子也不太好过。ASML宣布了一项裁员1700人的重组计划,随后在3月26日引发了员工罢工。同一时期好几家投行下调了它2026年的收入增长预期。一边裁人一边丢市场,这家曾经全球唯一的EUV光刻机供应商,压力空前。我们不幸灾乐祸,但市场规律就是这样,垄断被打破的时候,躺着赚钱的日子就到头了。

  中芯国际联合发起人、华大九天和北方华创的负责人联合撰文,呼吁举全国之力打造"中国的ASML"。文中指出中国已在EUV激光、双工件台、光学系统等方面实现突破。可他们也坦诚,怎么把这些技术整合到一起,还是"十五五"期间必须啃的硬骨头。

  差距客观存在,这一点不能回避。上海微电子的产能效率是10片晶圆每小时,ASML能到170片每小时。荷兰那边还在加码封锁,2025年10月荷兰宣布的光刻机出口新规把DUV设备出口限制从7纳米下调到14纳米。

  封锁越来越严,可反过来想,越是封锁越是倒逼我们自己加速。这几年中国半导体行业砸进去的钱、投入的人,都是前所未有的规模。

  回头看历史,上世纪80年代中国就尝试过自研光刻机。基础太薄,关键零部件也供不上,后来不得不放弃。那段时间我们觉得买就行了,自己造太费劲。2019年美国对华为动手,芯片断供的那一下,所有人都清醒了。关键技术不攥在自己手里,人家随便什么时间都能掐你脖子。从那之后,光刻机国产化就成了必须要走的路。

  项立刚有一段话说得挺实在,"产业的发展,不是有什么神一样用神来之笔突破,而是大量的普通人,用踏踏实实的积累,一点一点熬出来。"我们深以为然。一台ASML的EUV光刻机零件高达10万个,需要全球5000家企业配合才能产出。中国要做的不是山寨一台ASML,而是建起自己的一整套体系。

  2026年开春,"十五五"规划正在落地推进。政府工作报告明白准确地提出要培育壮大新兴起的产业和未来产业,打造集成电路等新兴支柱产业。资金到位、人才到位、政策到位,集成电路被摆到了战略高度。

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